精密ステージ（SPSシリーズ）

クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。
アクチュエーターとしてシャフトモーターを採用し、コイルを固定してシャフトを動かすユニークな構造です。
超低速～高速動作が可能で、速度ムラ、振動がほとんどありません。

精密ステージ（SPSシリーズ）ラインアップ

SPSシリーズは厚さ26mmの低姿勢、低重心、省スペースに対応したステージです。
専用ブラケットを取り付ける事で、シャフトモーターを２つ使用したパラレル駆動で推力アップが可能となりました。
エンコーダはインクリメンタル・アブソリュートの選択が可能です。

型番	ストローク長 (mm)	分解能オプション (μm)	繰返し精度 (count)	最大積載量 (kg)	合計質量 (kg)
SPS100TD-050	50	1～0.0025	±0.3	30	0.97
SPS100TD-100	100	1～0.0025	±0.3	30	1.33
SPS100TD-150	150	1～0.0025	±0.3	30	1.7