シャフトモーター　精密ステージ

特長

• 高精度
• 超低振動のリニアシャフトモータを使用
• オープンフレーム構造
• XY移動量±75ｍｍストローク
• 位置決め分解能0.1μｍ
• 高速制御可能（最高速度200mm/sec）
• 優れた静音性
• タイリング時の張り合わせも高精度に実現
• 小型コントローラードライバーFMAX-4X-2SDをご用意