XY軸、パン&チルトの4軸ともダイレクトドライブのリニアシャフトモーター、μDDモーターを使い、高速・精密位置決め・ノーバックラッシュを実現させています。
仕様
- XY 部 リニアシャフトモーター S160Q-160st
S160T-110st パラレル制御 エンコーダー分解能1μm - パンチルト部 マイクロテックラボラトリー社 μＤＤモーター MDH-40 シリーズ
エンコーダー分解能インクリメンタル324,000ppr - 日本パルスモーター社製 高速シリアルネットワークシステム“Motionnet” 使用
ローカル最大64 軸の同期･補間モーション制御可能
用途
- 高速カメラを使用した画像検査システム
- レーザー3D 精密加工システム
- 光学系検査装置