シャフトモーター 4軸を利用した高精度制御アライメントステージです。X, Y軸直線動作及びθ動作可能となります。
直径25mmのシャフトモーターで構成 (S250DS モデル)しています。各軸 0.001um（1nm）の高分解能リニアスケールを使用することで、0.1um以下の繰り返し精度を実現させています。(X軸 ±0.078μm, Y軸 ±0.049μm)
NPMの PCL6045BL（LSI）使った独立制御ボードとPanasonicドライバーを組み合わせて制御させています。
シャフトモーターの特長
- 高速動作 (タクトアップ)
- 高精度位置決め (フルクローズド制御)
- 圧倒的な速度安定性
- 高速整定 (ハイレスポンス)
- 形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい
- 1本のシャフトでマルチ駆動可能
- 1台のドライバーで複数の同期パラレル駆動が可能
- 非接触型のモーターなので､耐久性が優れている (保守費用の軽減)
- 低発塵
- 水･油･コンタミ･粉塵などの悪環境にも使用可能
- 音が大変静か