リニアシャフトモータの採用により、高精度・超低振動な超薄型（30mm）XYステージを実現しました。
特長
- 超薄型ステージ厚30mm
- オープンフレーム構造
- XY移動量45/30mmストローク
- コントローラFMAX-4X-2Dでジョイスティック操作も可能
- 位置決め分解能0.05μm
- 高速制御可能 最高速度200mm/sec（4Mpps時）
- 優れた静音性
- タイリング時の張り合わせも高精度に実現
シャフトモーターの特長
- 高速動作 (タクトアップ)
- 高精度位置決め (フルクローズド制御)
- 圧倒的な速度安定性
- 高速整定 (ハイレスポンス)
- 形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい
- 1本のシャフトでマルチ駆動可能
- 1台のドライバーで複数の同期パラレル駆動が可能
- 非接触型のモーターなので､耐久性が優れている (保守費用の軽減)
- 低発塵
- 水･油･コンタミ･粉塵などの悪環境にも使用可能