超低圧～高圧までを高精度で加圧制御可能です。
今までにないリニアシャフトモーター＆空圧サーボのハイブリット高精度加圧制御装置となります。
特長
- 1N( 誤差 ±0.045%) ～200N( 誤差 ±0.855%) で精密加圧制御（本デモ機）
- 定格推力 17N のリニアシャフトモーターをエアと併用することで最大250Nの加圧が可能
- 分解能 0.05μm 位置決め精度
- シャフトモーター､ エアシリンダーの組合せ次第で他領域の加圧制御も可能
- 垂直方向のシャフトモーターの自重キャンセルも行えるので、モーターの小型化・コイル発熱を大幅に抑制できる
- 組込み／ユニット化のご提案
製品構成
シャフトモーター：S250SS ( シャフト25mmΦ)
コントローラー ：Panasonic MINAS A6L
エンコーダー ：Renishaw Resolute アブソリュート 0.05μm / Panasonic シリアルプロトコル