XYステージは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合わせ持つ高精度リニアステージです。
駆動源にはコアレスのシャフトモーターを採用しており、コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しています。
ガイドにはクロスローラガイドを採用し、ムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性・耐久性をアップしています。移動中の振動、停止時の振動が極めて少なく顕微鏡・マイクロスコープ用途には最適です。
特長
| 高速性と耐久性 | 永久磁石と可動子は非接触、摩擦が無いので高速に動作でき耐久性は抜群。 |
|---|---|
| 高精度 | リニアエンコーダーとの組合せにより位置決めができ、 その分解能によって精度が決まるのでナノオーダーの位置決めが実現できる。 |
| 等速・低振動 | 可動子に磁性鉄心を使用していないので、シャフトとの間に吸着力がなく、コギング（細かい脈動）がない。 低速度で振動が少なく非常に滑らかに動作する。さらに静止時の振動がきわめて少ない。 |
| 簡単な構造 | 部品点数が少なくコンパクトな構造。取付け精度に気を使う部分がとても少ない。 |
| 静粛性 | 非接触なのでとても静か。 |
| 駆動方式 | 単軸駆動/マルチ駆動/パラレル駆動/タンデム駆動など多彩な組み合わせが可能。 |
主な仕様
| エンコーダー分解能 | 1～0.01μm |
|---|---|
| 厚さ | 30.5mm（超薄型） |
| シャフトモーター | S060T採用（定格トルク：1.77N、加速トルク：70.8N） |