リニアサーボモーター（シャフトモーター、パラレルXYステージ）

2軸のシャフトモーターをパラレル制御したXYステージです。
1台のアンプで2軸以上のシャフトモータを同期制御が可能です。リニアスケールも1つでOK。
シンプル制御で高精度、重量のある物の位置決めに効力を発揮します。

高速性と耐久性	永久磁石と可動子は非接触、摩擦が無いので高速に動作でき耐久性は抜群。
高精度	リニアエンコーダーとの組合せにより位置決めができ、その分解能によって精度が決まるのでナノオーダーの位置決めが実現できる。
等速・低振動	可動子に磁性鉄心を使用していないので、シャフトとの間に吸着力がなく、コギング（細かい脈動）がない。低速度で振動が少なく非常に滑らかに動作する。さらに静止時の振動がきわめて少ない。
簡単な構造	部品点数が少なくコンパクトな構造。取付け精度に気を使う部分がとても少ない。
静粛性	非接触なのでとても静か。
駆動方式	単軸駆動/マルチ駆動/パラレル駆動/タンデム駆動など多彩な組み合わせが可能。

繰り返し位置決め精度	±0.2μm以内
エンコーダー分解能	1μm